切向

X-Z；Z-X

直径

76.2±0.2mm

100.0±0.2mm

150.0±0.2mm

主基准面长度（OF）

22±2mm

32±2mm

47.5±2mm

第二基准面

根据客户要求而定

厚度

180～250±μm,350±20μm,500±20μm

翘曲度(WARP）

<25μm

弯曲度（BOW)

-25μm<BOW<25μm

PLTV

>95%(5mm*5mm)

TTV

<5μm

缺陷数量(直径<0.3μm）

<500个