切向

Y36°-X；Y42°-X；

直径

76.2±0.2mm

100.0±0.2mm

150.0±0.2mm

主基准面长度（OF）

22±2mm

32±2mm

47.5±2mm

居里温度

675±5℃，

第二基准面

根据客户要求而定

厚度

180～250±20μm,350±20μm,

翘曲度（WARP）

<25μm

弯曲度（BOW）

-25μm<BOW<25um

TTV

<5μm

PLTV（LTV<1μm)

>95%(5mm*5mm)

正面粗糙度

<1nm

背面粗糙度

GC1000#及客户定制

表面缺陷数量（直径<0.3μm)

<500个

应用领域

对温度稳定性和机电耦合系数有特殊要求的声表面波器件