切向

Y-Z;Y15°-X;Y41°-X;Y64°-X;Y127.8°-X;Y135°-X;Y163°-X,其他客户要求的方向

直径

76.2±0.2mm

100.0±0.2mm

150.0±0.2mm

主基准面长度（OF）

22±2mm

32±2mm

47.5±2mm

居里温度

1142±2℃

第二基准面

根据客户要求而定

厚度

180～250±20μm,350±20μm,500±20μm，1000±20μm客户定制

翘曲度(WARP)

<25μm

弯曲度(BOW）

-25μm<BOW<25μm

TTV

<5μm

PLTV（LTV<1μm)

>95%(5mm*5mm)

正面粗糙度(Ra)

<1nm

背面粗糙度(Ra)

GC80#，GC120#，GC240#，GC320#，GC1000#,GC2000#及客户定制

表面缺陷数量（直径<0.3μm)

<500个

电导率（Ω^－１·ｃｍ^－１）

黑化：１×１０^－１0 －  １×１０^－１1

不黑化：１×１０^－１4－１×１０^－１5

应用领域

声表面波器件

切向

Y

Y127.8°

Y64°

波传输方向

Z

X

X

机电耦合系数（%）

４.５

５.４

１１.３

温度漂移系数（ｐｐｍ／℃）

－９４

－７５

－８１

声表面波波速（ｍ／ｓ）

３４８８

３９７９

４４７８