切向

Y36°-X；Y42°-X；X-Y112°；X-Z；Z-X及客户定制

直径

76.2±0.2mm

100.0±0.2mm

150.0±0.2mm

主基准面长度（OF）

22±2mm

32±2mm

47.5±2mm

居里温度

603±2℃，605±2℃

第二基准面

根据客户要求而定

厚度

180～250±20μm,350±20μm,500±20μm，客户定制

翘曲度（WARP）

<25μm

弯曲度（BOW）

-25μm<BOW<25μm

TTV

<5μm

PLTV（LTV<1μm)

>95%(5mm*5mm)

正面粗糙度（Ra)

<1nm

背面粗糙度(Ra)

GC80#，GC120#，GC240#，GC320#，GC1000#,GC2000#及客户定制

表面缺陷数量（直径<0.3μm)

<500个

电导率（Ω^－１·ｃｍ^－１）

黑化：１×１０^－１１－１×１０^－１２

不黑化：１×１０^－１５－１×１０^－１６

应用领域

声表面波器件

切向

X

Y36°

Y42°

波传输方向

Y112°

X

X

机电耦合系数（％）

０.７０

６.０

７.６

温度漂移系数（ｐｐｍ／℃）

－１８

－３２

－４０

声表面波波速（ｍ／ｓ）

３３００

４１１２

４０２２